| 标准号 | ISO 22278:2020 |
|---|---|
| 发布组织 | ISO(国际标准化组织) |
| 发布年份 | 2020 |
| 状态 | current |
| 英文标题 | Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam |
数据来源:国际标准化组织。整理日期:2026-10-10。 本页标准信息用于检索与选型参考,不构成标准原文的替代,也不构成法律意义上的等效认定。 标准内容以发布机构出版的正式文本为准。