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TCVN 12175:2017 微系统生产设备 - 末端执行器和处理系统之间的接口

标准号TCVN 12175:2017
发布组织TCVN(越南国家标准)
发布年份2017
状态current
英文标题Production equipment for microsystems - Interface between end effector and handling system

范围说明

| 越南语原名:Thiết bị sản xuất cho các hệ thống vi mô - Giao diện giữa bộ tác động cuối và hệ thống xử lý

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数据来源:越南国家标准。整理日期:2026-10-10。 本页标准信息用于检索与选型参考,不构成标准原文的替代,也不构成法律意义上的等效认定。 标准内容以发布机构出版的正式文本为准。