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TCVN 8664-2:2011 洁净室和相关的受控环境。第 2 部分:用于证明持续符合 ISO 14644 - 1 的测试和监控规范

标准号TCVN 8664-2:2011
发布组织TCVN(越南国家标准)
发布年份2011
状态current
英文标题Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1

范围说明

| 越南语原名:Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan. Phần 2: Yêu cầu kỹ thuật để thử nghiệm và theo dõi nhằm chứng minh sự phù hợp liên tục với TCVN 8664-1 (ISO 14644-1)

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如何使用本标准信息

数据来源:越南国家标准。整理日期:2026-10-10。 本页标准信息用于检索与选型参考,不构成标准原文的替代,也不构成法律意义上的等效认定。 标准内容以发布机构出版的正式文本为准。